共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),，它通過(guò)數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來(lái)實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像,，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,，共聚焦顯微鏡工業(yè)測(cè)量?jī)x可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料制造,、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓,、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能；

2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,；

3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

技術(shù)指標(biāo)

應(yīng)用領(lǐng)域

共聚焦顯微鏡工業(yè)測(cè)量?jī)x對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

共焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡上常配備靈敏度較低的CCD相機(jī)來(lái)采集圖像,，對(duì)于低照度的光，如熒光無(wú)法探測(cè)到,，而共聚焦顯微鏡系統(tǒng)使用的探測(cè)元件是高靈敏度的光電倍增管,，對(duì)微弱的熒光信號(hào)可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度，并且還可以通過(guò)縮小激發(fā)范圍并使用光學(xué)切片來(lái)消除背景噪聲,。

在相同物鏡放大的條件下,，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),，橫向分辨率更高。

應(yīng)用范例